Список научных трудов
1. Богданов Ю.И., Богданова Н.А., Земцовский С.И. и др. Статистическоеисследование времени до пробоя подзатворного диэлектрика в условиях электрического стресса. // Микроэлектроника. 1994. Т.23. №1. С.75-85.
2. Богданов Ю.И., Богданова Н.А., Земцовский С.И. Статистическое моделирование и анализ данных по времязависимому пробою тонких диэлектрических слоев.// Радиотехника и электроника. 1995. Т. №12. С.1874-1882.
3. Богданов Ю.И. Анализ вариаций и построение контрольных карт в микроэлектронике. // Микроэлектроника. 1995. Т.24. №6. С.435-446.4. Богданов Ю.И., Богданова Н.А. Непараметрический дисперсионный анализ и контроль за состоянием измерительного оборудования в микроэлектронном производстве //Тезисы доклада на Всероссийской научно-технической конференции “Электроника и информатика”. Москва. Зеленоград, МИЭТ, 15-17 ноября 1995. с. 254-255. (Источник РЖ Электроника 1996 12Б483)
5. Богданов Ю.И., Богданова Н.А. Бутстреп, структура данных и управление технологическими процессами в микроэлектронике. // Микроэлектроника. 1997. Т.26. №3. С. 183-187.
6. Богданов Ю.И., Романов А.А. О выявлении скрытых технологических факторов на основе минимизации энтропии. // Микроэлектроника. 1997. Т.26. №3. С. 176-182.
7. Богданов Ю.И., Богданова Н.А. Обеспечение субмикронной точности контроля неплоскостности полупроводниковых пластин. // 52-я Научная Сессия, Посвященная Дню Радио. Москва. 21-22 мая 1997. Тезисы докладов. Часть 1. с. 66.
8. Богданов Ю.И., Елиферов В.Г. Анализ резко выделяющихся наблюдений в данных электрофизического тестового контроля. // 52-я Научная Сессия, Посвященная Дню Радио. Москва. 21-22 мая 1997. Тезисы докладов. Часть 1. с. 67.
9. Богданов Ю.И., Краюшкин В.М. Статистическое управление технологическим процессом в полупроводниковом производстве. // Всероссийская научно-техническая конференция “Электроника и информитика - 97”. Зеленоград 25-26 ноября 1997 г. Тезисы докладов. Часть 1. с.136-137.
10. Богданов Ю.И., Богданова Н.А., Статистическое управление технологическими процессами в микроэлектронике с интенсивным использованием компьютерных технологий. // Всероссийская научно-техническая конференция “Электроника и информитика - 97”. Зеленоград 25-26 ноября 1997 г. Тезисы докладов. Часть 1. с.138-139.
11. Богданов Ю.И., Богданова Н.А. Контроль неплоскостности полупроводниковых пластин в субмикронной технологии // Микроэлектроника. 1998. Т.27. N1. с.28-34.
12. Богданов Ю.И. Информация Фишера и непараметрическая аппроксимация плотности распределения // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 1998. т. 64. N 7. с. 54-60.
13. Ю.И. Богданов Влияние кластеризации дефектов на выход годных в рамках модели биномиального компаунд- распределения. // Всероссийская научно-техническая конференция “Микро- и наноэлектроника 98”. Звенигород.
14. Ю.И. Богданов, А.А. Романов Контроль дефектности и управление выходом годных в полупроводниковом производстве. // Всероссийская научно-техническая конференция “Микро- и наноэлектроника 98”. Звенигород.
15. Ю.И. Богданов, Н.А. Богданова Влияние кластеризации дефектов на эффективность кода Хемминга. // Всероссийская научно-техническая конференция “Микро- и наноэлектроника 98”. Звенигород.
16. Ю.И. Богданов, В.В. Минаев, А.В. Руднев Анализ сравнительных экспериментов и оценка экономической эффективности полупроводникового производства // Седьмая всероссийская межвузовская научно-техническая конференция “Микроэлектроника и информитика - 2000”. Зеленоград 17,18 апреля 2000 г. Тезисы докладов. С. 9.
17. Ю.И. Богданов, В.В. Минаев, А.В. Руднев Анализ выхода годных изделий и контроль технологических потерь в полупроводниковом производстве // Первый всероссийский симпозиум “Стратегическое планирование и развитие предприятий”. Москва. ЦЭМИ. 11 - 12 апреля 2000 г. Тезисы докладов и сообщений (под ред. проф. Г.Б. Клейера). с.19-21.
18. В.В. Минаев, Ю.И. Богданов, М.А. Ляшко, Ю.В. Маклаков, В.Г. Редько Архитектура системы управления производством интегральных схем на предприятии электронной промышленности // Первый всероссийский симпозиум “Стратегическое планирование и развитие предприятий”. Москва. ЦЭМИ. 11 - 12 апреля 2000 г. Тезисы докладов и сообщений (под ред. проф. Г.Б. Клейера). с.105-107.
19. Ю.И. Богданов, В.В. Минаев, Н.А. Куварзин, А.А. Романов Управление выходом годных и экономическая эффективность полупроводникового производства // Ангстрем. Время изменений. Материалы (избранные) ежегодных научно-практических конференций 1998 – 2000 г.г. М. Ангстрем. с.28-33.
20. Ю.И. Богданов, В.В. Минаев, Н.А. Куварзин, А.А. Романов Управление выходом годных и экономическая эффективность полупроводникового производства // Экономика качества. Серия “Все о качестве. Отечественные разработки”. Выпуск 4. с. 28-33. М. НТК “Трек”. 2001 г.
21. В.В. Минаев, Ю.И. Богданов, М.А. Ляшко, Ю.В. Маклаков, В.Г. Редько Система управления производством. Идентификация и устранение узких мест. // Международная конференция "Идентификация систем и задачи управления". М. Институт проблем управления. 26-28 сентября 2000 г. Материалы конференции. Компакт-диск ISBN 5-201-09605-0. стр.8
22. Богданов Ю.И, Минаев В.В., Руднев А.В. Статистический контроль выхода годной продукции и технологических потерь в полупроводниковом производстве. // Тезисы доклада на седьмой международной научно-технической конференции “Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники”. Дивноморское. Россия. 17–22 сентября 2000. часть 1. с.74–76.
23. Богданов Ю.И, Богданова Н.А. Статистическое моделирование классических динамических систем на квантовом компьютере. // Тезисы доклада на седьмой международной научно-технической конференции “Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники”. Дивноморское. Россия. 17–22 сентября 2000. часть2. с.6 - 9.
24. Богданов Ю.И., Минаев В.В., Руднев А.В. Прогнозирование выхода годных и контроль технологических потерь в полупроводниковом производстве. // Известия вузов. Сер. электроника. 2001. №3. с.52-57.
25. Богданов Ю.И., Богданова Н.А. Статистическое управление технологическим процессом (методическое пособие) //Серия “Все о качестве. Отечественные разработки”. Выпуск 6. 60 с. М. НТК “Трек”. 2001 г.
26. Богданов Ю.И., Богданова Н.А., Дшхунян В.Л. Распределение выхода годных с учетом неоднородного кластерного дефектообразования // Тезисы докладов на всероссийской научно – технической дистанционной конференции “Электроника”. Зеленоград, 19 – 30 ноября 2001 г., с. 121 – 122.
27. Богданов Ю.И., Богданова Н.А., Дшхунян В.Л., Романов А.А. Статистический контроль потока партий в полупроводниковом производстве // Тезисы докладов на всероссийской научно – технической дистанционной конференции “Электроника”. Зеленоград, 19 – 30 ноября 2001 г., с. 140 – 141.
28. Богданов Ю.И., Дшхунян В.Л., Земцовский С.И. Основные элементы системы статистического управления технологическим процессом в полупроводниковом производстве // Тезисы докладов на всероссийской научно – технической дистанционной конференции “Электроника”. Зеленоград, 19 – 30 ноября 2001 г., с. 142 – 143.
29. Богданов Ю.И., Дшхунян В.Л. Роль статистических методов в системе качества полупроводникового производства // Тезисы докладов на всероссийской научно – технической дистанционной конференции “Электроника”. Зеленоград, 19 – 30 ноября 2001 г., с. 144 – 145.
30. Богданов Ю.И., Дшхунян В.Л., Руднев А.В. Приемочный контроль качества в полупроводниковом производстве // Тезисы докладов на всероссийской научно – технической дистанционной конференции “Электроника”. Зеленоград, 19 – 30 ноября 2001 г., с. 146 – 147.
31. Богданов Ю.И. Основная задача статистического анализа данных: корневой подход. М. МИЭТ.2002.96 с.
32. Богданов Ю.И., Богданова Н.А., Романов А.А., Руднев А.В. Многоуровневые кластерные модели для дефектности и выхода годных в микроэлектронике // Тезисы доклада на восьмой международной научно-технической конференции “Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники”. Дивноморское. Россия. 14–19 сентября 2002.
33. Богданов Ю.И., Руднев А.В. Математическое моделирование в рамках кластерных моделей для дефектности и выхода годных в микроэлектронике // Тезисы доклада на восьмой международной научно-технической конференции “Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники”. Дивноморское. Россия. 14–19 сентября 2002.
34. Богданов Ю.И., Богданова Н.А., Земцовский С.И. Статистический анализ времени безотказной работы электронных изделий в координатах Вейбулла // Тезисы доклада на восьмой международной научно-технической конференции “Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники”. Дивноморское. Россия. 14–19 сентября 2002.
35. Богданов Ю.И., Богданова Н.А., Дшхунян В.Л. Статистические модели управления дефектностью и выходом годных в микроэлектронике // Микроэлектроника (принята к печати).
36. Богданов Ю.И. Метод максимального правдоподобия и корневая оценка плотности распределения // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. (принята к печати).
Стандарты.
1. ОСТ 1114.1011-99 Стандарт отрасли. Микросхемы интегральные. Система и методы статистического контроля и регулирования технологического процесса. М. 1999. ЦНИИ 22. 78 с.2. СТП ЩИ 9000.20.02.-99 Рекомендуемые статистические методики обеспечения качества и надежности электронных изделий и технологий. М. 1999. ОАО “Ангстрем”. 108 с.
-------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Нажмите на ссылку, чтобы скачать вышеприведенный список публикаций
publications.doc (40 kB) (Microsoft Word)
publications.pdf (127 kB) (Adobe Acrobat)